重生之电子风云-第221部分
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214所的工程师们也都点头，很想知道重光打算怎么改造这条线路。
胡一亭见在场的都是工程师，于是便坦诚相告道：“我们打算从长春光机所订一套高参数标准的物镜，缩小倍率大约是八倍到十倍，用来替换成都光机所这款光刻机上的五倍物镜。
当然这个花费很大，不过目前我已经有了新物镜的初步设计方案，等我把设计思路大体搞出来以后，就派人去和长光所谈，不管多少钱，总要不惜代价的把东西做出来。
当然，换了物镜之后，良品率肯定是不能保证了，但既然是试验线路，也不在乎这个问题。
另外提升制程的办法还有很多，比如控制光刻胶的厚度，或者用流明度更高的进口胶代替国产胶，再比如设计更精准的步进电机以改善套刻精度，或者干脆缩小像场尺寸，等等等等，手段五花八门，反正这里大家都是内行，应该对这些都不陌生吧。”
有工程师道：“胡总你年纪轻轻，但一听你说话，我就知道你是内行，真不简单啊！你真的才17岁吗？”
“哈哈哈……”
此言一出，车间走廊里立刻响起了一片善意的笑声。
胡一亭笑道：“我是天才嘛，这一点江水书记都承认，你们还信不过我吗？我解的庞加莱猜想你们看过吗？觉得怎么样？”
有工程师道：“胡总工你好，我叫奚龙山，我看过你的庞加莱猜想，不过看了一半就看不懂了，很惭愧啊，但我相信你是天才，真的！你很了不起！”
胡一亭问：“奚工你留不留下？”
奚龙山道：“我本来是想去庐州的，毕竟是省会大城市嘛，但看了你的《庞加莱猜想暨几何化猜想的完全证明》之后，我还是挺心动的，觉得你们重光是有很强的核心技术的，毕竟你们设计的几款芯片和程控机名气现在都很大，所以我主动申请留下来了。”
胡一亭和康耀祥几乎同时道：“欢迎你加入重光！”
奚龙山仿佛要考考胡一亭和康耀祥，问道：“胡总工，康总工，我们这套光刻机也是成光所的，自从把线宽从3微米调整到了1。5微米之后，透镜的发热问题就很严重了，你们将来要把五倍物镜换成8到10倍，那你们打算怎么解决曝光能量的发热问题，发热后引起镜头变形和偏焦，长时间这么干，那可要把设备毁了的。”
听到奚龙山发难，立刻有同事也参与进来：“胡工康工你们好，我叫王选玉，也是214所的高级工程师，我想请问你们有什么办法解决光刻胶引起的显影缺陷吗？目前国内工艺里的光刻胶清洗中，残胶问题很突出，导致下一工序中的重复投影出现图形失效的问题很突出，你们的实验线有没有打算对这一问题进行改进？”
顾峡生一看这阵仗吓了一跳，心说这不是为难人家嘛，这个胡一亭数学水平再高，也对付不了你们这群术业有专攻的高工啊！高级工程师可是副教授级别，研究员级高级工程师是正教授级别。好家伙，这一群人里倒有一半是正教授，剩下一半副教授，你们一人问一个问题，这胡总就是有三头六臂也答不上来吧！他虽然是世界级数学天才，有精通IC设计，但怎么说也不可能对工艺制程了解的像你们这么深啊！
“大家都别为难胡总和康总了，这些技术问题是所有晶圆厂的通病，你们这样问，让康总和胡总怎么回答嘛！”
康耀祥也讪讪地笑着，心说这还真不好回答，毕竟每个厂都有自己的工艺，解决问题的办法各不相同，真要笼统的回答，未免要被大家瞧不起，但若不结合具体问题来谈，那这个问题就没了边际，说道明天早上也说不完啊。
正当康耀祥犹豫着怎么说才合适的时候，胡一亭却很认真地开了口。
“这有什么难的，光刻机镜头是个大型组合镜头，光是镜片就有十几二十片，套筒一个接一个，想要完全避免几何畸变是不可能的，这个问题无论哪家光刻机厂商都有。
作为照明源的高压汞灯能量很高，曝光时的快门速度只有零点几秒，自然是会导致镜头组件出现瞬间加热又瞬间冷却的几何畸变，但这些都是工程上的问题，我们做制程的不要去过多的考虑，不要去抱怨机子不如外国人的问题，要是机子和外国人一样好了，还要我们干什么！
我们要知道，制程工艺里是允许几何畸变的，甚至要利用几何畸变，首先我们要摸清畸变的像场特征，从而在镜头对焦时寻找畸变误差最小的对位点，这既要求我们一次次的实验，寻找每个镜头的畸变像场特征，也要改进我们的硅片定位系统，改进激光干涉仪的精度，确保畸变可控。
我就只说这么一个思路吧，再多的我就不说了，都是技术机密。
至于光刻胶残留造成的显影缺陷，那就更容易解决了，我再说一遍我们是搞制程的，不是搞化学的，光刻胶今后再怎么进化，用聚乙烯醇肉桂酸脂也好，环氧橡胶双叠氮也好，酚醛树脂重氮萘脂也好，那都是化工企业的问题，他们厂家怎么改进配方，那都不是我们要关心的问题。
为了彻底脱胶，我的思路是上双层胶，降低胶膜对光源的反射，也就是目前国际上刚提出来的用抗反射剂来解决胶体残留影响曝光的思路，其中一层胶体在曝光下分解酸性气体，可以彻底清除残胶，解决残胶影响曝光的问题，从而解决显影缺陷。
好吧，我就说这么多看，至于具体的双胶工艺如何做，那都是技术机密，我不能说。
总之突破这两个工艺之后，制程技术直上50纳米不成问题！今后我们重光的制程技术攻关就在这两点上！！！”
要知道，胡一亭在跳槽华创担纲天思930芯片研发总设计师之前，他在浦海微电子装备集团就是专门负责集成电路生产设备的制造与生产工艺流程结合，负责为光刻机等先进制程设备与具体IC生产工艺融合而设计最佳方案的！若论对于晶圆厂制程工艺的了解，他算是1996年地球上排名第一的学术权威。
他刚才这番话完全是按照世界制程工艺未来的技术路线在阐述，可谓是高屋建瓴般的技术见解，好比天水顺着屋脊瓦当流下来那么势不可挡！
这年头国内的制程工艺比起西方来还差得远，西方对华的技术封锁造成了国内在这方面有大量技术空白。
对于在场的工程师们来说，胡一亭的话就像飞流直下三千尺的瀑布一样具有冲击力，听在耳朵里简直就像是晴天霹雳，大家觉得胡一亭的路子实在是邪门！实在是野！但似乎又充满了让人浑身起鸡皮疙瘩的灵感！就好像在大家的眼前打开了一闪光芒四射的大门！门后是堆积如山的奇珍异宝正在烁烁发光！
胡一亭低着头说完之后，抬起头来，见所有人都在激动而不安地注视着他。
以为大家不相信自己的胡一亭开始恼火，扬声大吼道：
“怎么啦？我说错啦？谁不服站出来说说你的解决方案！
你们啊！图样图森破！
我胡一亭是不可能错的！
只要你们跟着我干！0。35微米那就是小菜一碟！
50纳米……指日可待！！！”
第322章 许诺巨额研发经费（）
一 “胡总工，你说的这些靠谱吗？”奚龙山有些激动又有些怀疑地问。
“是啊，上了双胶的厚度还了得！那还怎么保证流明度？”
“双胶曝光产生化学反应不会腐蚀硅片上的沉积吗？”
“对啊，抛开腐蚀性不谈，这是要用哪两种胶搭配啊？涂覆后又要怎么消除不同性质的胶层间的折射呢？”
“你还考虑涂覆后的问题呢！我看涂覆本身就是个大问题！这可不是做奶油蛋糕，厚点没关系，胶层可是零点几微米的厚薄，底胶刷上去后，二层胶体的涂覆均匀度怎么保证？涂覆厚薄如何控制？我们现在的上胶设备都是采用高速旋转涂覆工艺，这要是再刷二层胶，底胶肯定被刮破的不成样子了！”
“你们就只考虑光刻胶，我看胡总关于解决几何畸变的思路才是最难解决的工艺，这需要对每台光刻机的镜头分别实验，采集参数，再对镜头与硅片之间定位的标记点作不同的微调，这里面要花多少功夫啊。”
“是啊，现在用的硅片定位系统可做不到这么智能化的微调，按照胡总的思路，光刻机每次曝光都要根据曝光图形来微调定位标点，这简直太精密了，等于说硅片定位系统要搞一套全新的设计，才能满足需求。”
王选玉工程师有些激动地道：“胡总，你有没有这方面的论文？如果有的话为什么不发表啊？把你的思路详细说一说不可以吗？”
胡一亭道：“这些都是国际上最领先的工艺，哪可能写论文给大家白看白学啊！
而且从根子上来说，没有更好的光刻机支持，制程工艺的改进不过是一种强行提高制程的手段罢了，为的是最大限度的提高实验室制程下的良品率。”
顾峡生所长激动道：“可要是能把0。8微米光刻机下的实验线强行提升到0。35微米制程，并且提升流片良品率，这意义还了得啊！
这等于是帮助我们国家提前研发新一代制程下的IC设计工艺啊！这在以往可是只有西方少数巨型集成电路公司才会的技术。”
奚龙山也道：“是啊！哪怕是强行提升试验线路的制程和流片良品率，那也是了不起的技术突破！意义重大！
我听说在英特尔和德州仪器的实验室里，能用平级甚至低级制程设备做出领先世界最先进晶圆厂制程的下一代线宽，来作为IC设计实验线路使用，要是咱们国家也能做到这一点就好了，那样一来，也就不存在晶圆厂等IC设计的尴尬了！”
胡一亭笑道：“对，这就是实验线的积极意义所在，未来重光会大笔投资在制程工艺乃至制程设备的技术研发上，金额嘛，反正是天文数字！”
顾所长惊叹道：“我国在制程工艺上还比较落后，这也是改革开放以后长期缺少研发经费的缘故，像胡总说的这些新工艺，没钱根本就不可能立项研发。
胡总你肯往国家的科技短板进行大笔投资，真是好样的！我佩服你，这一点可比那些空手套白狼搞房地产的人强多了！”
奚龙山直截了当地问胡一亭：“胡总，你说的天文数字到底是多少？一百万？一千万？一亿？”
听了奚龙山的提问，大家也都关注地望着胡一亭，想听他说的明确些。
胡一亭见状，也不绕弯子了。
“上不封顶，持续投入，至少每年三亿人民币。”
在场所有人都惊呆了。
一年三个亿！
这在1996年绝对是天文数字，况且投的还是制程技术研发这样的无底洞，寻常人有这么多钱，早去干房地产了，3亿人民币足够在湖山这样的城市搞个大楼盘，甚至连银行贷款都不用借！
顾所连忙问：“全投在咱们所的实验线路上？”
胡一亭道：“实验线路改造的设备费估计就得有一个亿，虽然用的是国产设备相对便宜，但这点钱是必须的。
然后还要为设备改造下订单，订购一批我们重光自己设计的制程设备和精密部件，这预算我就先按一亿来花。
另外就是各项技改的科研经费，为了确保兵强马壮，一年投个一亿也不算多。
等到明年，虽然设备采购完成了，但各项技改项目也会进入花钱阶段，所以三亿预算还是能花掉的。
总之我们重光是下定决心要深深扎根IC产业的，不管投多少钱，投多少年，我们都要把中国集成电路制造业搞上去！
我这一辈子如果只让我干一件事，那就是这个！”
胡一亭的表态迎来了工程师们的如雷掌声。
奚龙山道：“看来我决定留下是对的，胡总，你可不要食言啊！待遇什么的过得去就行了，但科研经费一定要保证！只要肯砸钱，中国科研人员绝没有搞不出来的技术！”
王选玉也道：“既然胡总你是个真懂技术的人！我也留下来！
我始终觉得，中国的集成电路产业靠引进技术是走不通的！吃人家嚼过吐掉的渣滓，那是野狗，绝对胖不起来！
中国每年几十上百亿的买日本的二手装备，还不如把这钱投咱们自己的设备研发呢！
想当年，中国人靠自己的全套设备和技术，比西德还早一年成功复制8080处理器呢！集成电路技术比美国也不过落后个5年！
可如今呢？一天到晚的求着人家买设备，还几十上百亿的把人
